一种动压浮离抛光方法[CN201310244152.1] - 浙江工业大学

一种动压浮离抛光方法

* 专利信息仅供参考，不具有法律效力。有效专利

注册号： CN201310244152.1 申请日期： 2013-06-18 专利主类别： B24B1/00 {{ classMap["B24B1/00"] }}

申请人名称：浙江工业大学

申请人地址：浙江省杭州市下城区朝晖六区潮王路18号

专利分类项目

专利注册信息

初审公告期号	2013-06-18	初审公告日期	2015-09-16
注册公告期号	2015-09-16	注册公告日期	2015-09-16
专用权期限	2015-09-16 - 2025-09-13	专利类型	发明授权
代理组织机构	杭州斯可睿专利事务所有限公司查看该机构代理的所有专利

专利介绍

一种动压浮离抛光方法，将粘贴有工件的基盘沿圆周方向制成有若干个倾斜平面的圆盘在液体中转动时，通过液体楔产生液体动压，使保持环中的工件浮离圆盘表面，通过浮动间隙的粉末颗粒对工件进行抛光。本发明提供一种在加工工件时既能降低表面粗糙度、改善表面质量，同时能够提高精度的动压浮离抛光方法。

法律进度

2023-12-05 专利实施许可合同备案的生效 IPC(主分类): B24B 1/00 合同备案号: X2023980047317 专利申请号: 201310 ...
2015-09-16 授权 ...
2013-11-06 实质审查的生效 IPC(主分类): B24B 1/00 专利申请号: 201310244152.1 申请日: 2013.0 ...
2013-10-02 公开 ...

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